问：
半导体车间洁净度检测方法
答：
半导体车间洁净度检测主要有以下几种方法:
1. 空气微粒检测。使用空气微粒检测仪检测车间内空气中的微粒数及大小,确认是否达到洁净车间标准。常用的有激光粒子计数器、露点仪等。
2. 空气中化学污染物检测。使用化学污染物检测仪监测空气中化学物质如甲醛、TVOC等的浓度,确认是否超标。常用的有化学发光检测仪、离子色谱仪、气相色谱仪等。
3. 表面微粒检测。使用便携式表面微粒检测仪,检查车间内表面如地面、墙面、设备表面等的微粒污染情况,检查是否超过标准。
4. 温湿度检测。使用温湿度记录仪监测车间内温度、湿度,确认是否在适宜的控制范围内。温湿度会影响空气中微粒和污染物的漂浮和扩散。
5. 压力检测。使用便携式压力计检测车间内正压或负压值,确认是否达到车间洁净度等级要求的压力标准。
6. 洁净验证。定期采集空气和表面微粒样品,送第三方测试机构进行洁净度验证测试,确保车间洁净度达到相应等级要求。
综上,半导体车间洁净度检测方法主要依靠各类仪器设备监测微粒、污染物、温湿度、压力等指标,以此判断空气洁净度是否达标,是车间洁净控制的重要手段。定期的第三方验证也是必不可少的。